Diener等離子表面處理設備
德國Diener是專門生產(chǎn)經(jīng)濟、可靠的等離子清洗和等離子刻蝕設備的公司, 是世界上材料處理低溫等離子體設備的市場和技術者。Diener采用先進的集成化技術開發(fā)生產(chǎn)射頻頻率為40KHz 、80KHz、13.56MHz,以及代表等離子應用技術的2.45GHz的等離子清洗機。
目前設備廣泛應用于:等離子清洗、刻蝕、灰化、涂鍍和表面處理。產(chǎn)品主要分布在真空電子、LED、太陽能光伏、集成電路、生命科學、半導體科研、半導體封裝、芯片制造、MEMS器件等領域。其設備生產(chǎn)零件均選用其零件行業(yè)的產(chǎn)品,以保證性能技術穩(wěn)定。
Diener PlasmaBeam mini
1. 外尺寸: B 350 mm, H 166 mm, T 300 mm, 重量. 10 kg
2. 噴頭直徑. φ25 mm, L 150 mm, 重量. 0.5 kg, 線纜 1.5 m
3. 發(fā)生器:2,45 GHz/8 W
4. 反應氣體:單路Ar
5. 電源:單相100~240V,1.5A
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