簡要描述:布魯克Bruker隧穿磁比率測量儀SmartProber-P1——用于企業(yè)研發(fā)和故障分析中 300mm 晶圓應(yīng)用的電動系統(tǒng)
產(chǎn)品目錄
品牌 | Bruker/布魯克 | 產(chǎn)地類別 | 進口 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
布魯克Bruker隧穿磁比率測量儀SmartProber-P1
——用于企業(yè)研發(fā)和故障分析中 300mm 晶圓應(yīng)用的電動系統(tǒng)
·高垂直面
磁場
·可配置
設(shè)計和選項
·全晶圓覆蓋
高達 300 毫米
·0.1-100 kΩμm2
RA 范圍
這種類型的 SmartProber 有多種配置可供選擇。如果需要高垂直場,但只需要測量小樣品,則可以用更便宜的手動載物臺代替自動晶圓載物臺。
SP-P1 – 6kOe 磁體,300mm 旋轉(zhuǎn)晶圓臺
配置選項:
C:附加場強為 2kOe 的面內(nèi)磁體模塊
Y:200mm XY 晶圓臺
M:用于小樣品的手動晶圓臺
L:10kOe 磁體
布魯克Bruker隧穿磁比率測量儀SmartProber-P1
布魯克Bruker隧穿磁比率測量儀SmartProber-P1
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